蘋果，還是橙子？

沒錯，各位親，今兒咱們從“蘋果”和“橙子”開始嘮。。。

英文中“Apple and orange”,是一個習(xí)慣用語；說的是事物之間沒有可比性，有點(diǎn)像中文的“風(fēng)馬牛不相及”。

然而這蘋果和橙子，到底有何不同？讓我們用ZYGO白光輪廓儀看個究竟吧。

測試方式如上圖，測試配置如下：

ZYGO Zegage Pro白光輪廓儀；
10X干涉物鏡，2.5mm*2.5mm范圍內(nèi)拼接；

數(shù)據(jù)分析使用0.008mm-0.8mm帶通濾波

上圖是測試結(jié)果。各位親猜猜看，哪個是蘋果，哪個又是橙子呢？

做3D表面形貌分析時，往往用光譜顏色變化，來輔助標(biāo)識高度。通常以藍(lán)色表示相對低的區(qū)域，而沿著光譜，自藍(lán)色向紅色變化，就代表著高度相對增加。

再看這兩個表面，左圖色彩斑斕，看起來有點(diǎn)“糙”，是不是？。。。

不過這兩個結(jié)果沒有標(biāo)識測試區(qū)域大小，可能有陷阱哦，畢竟宏觀和微觀視角下，表面形貌可能大有不同呢。

那讓我們標(biāo)識橫向尺寸吧：

橫向尺寸標(biāo)注好了，兩個結(jié)果視場范圍都是：2.5mm*2.5mm。嗯，看起來左圖“毛毛糙糙”，是不是。。。？

等下，雖然橫向尺寸標(biāo)注了，可縱向高度沒有單位，以上兩圖形貌的起伏變化，實(shí)際代表分別是多高呢？

那讓我們標(biāo)識縱向尺寸吧：

哈，這下有些眉目了。原來在左圖里，紅色代表的*高點(diǎn)是+10um，藍(lán)色代表的*低點(diǎn)時-10um；而右圖的紅色高點(diǎn)代表+100um，藍(lán)色低點(diǎn)代表-100um。

右圖的形貌高低起伏，范圍是~200um；實(shí)際 是左圖~20um的十倍。看來，誰是蘋果，誰是橙子有線索了。

由于“色譜標(biāo)識高度”時，一般默認(rèn)采用自動適應(yīng)動態(tài)范圍的方式，總是用紅色標(biāo)識*高點(diǎn)，藍(lán)色表示*低點(diǎn)，而不是以實(shí)際高度改變顏色，所以左圖會給人一個錯覺，“顏色變化更劇烈，好像是更粗糙”。

那讓我們改變色譜標(biāo)識自適應(yīng)動態(tài)范圍的方式，將色譜標(biāo)識范圍手動設(shè)定到+/-100um吧：

哈哈，這下藏不住了！

在ZYGO Zegage Pro白光輪廓儀同樣的測試區(qū)域，同樣的高度標(biāo)尺，同樣的色譜變化范圍設(shè)置下，可以一目了然地從形貌起伏，顏色變化，看出哪個更光滑，那個更粗糙了！

總結(jié)一下：

各位親，雖然3D形貌地圖配合色譜圖，非常直觀；但橫向測試范圍，縱向高度尺度也很關(guān)鍵，否則可能會指鹿為馬哦！