在光學(xué)加工中，常采用單點(diǎn)金剛石刀頭切割光學(xué)表面。刀頭的形狀誤差或波紋度會(huì)影響光學(xué)表面。泰勒·霍普森的 Talyrond 595H高精度圓度測(cè)量系統(tǒng)可以通過(guò)測(cè)量形狀誤差幫助改善刀頭的制造過(guò)程。

圖一， 測(cè)量裝置示意圖

圖二， 刀具裝夾在TR595H上

測(cè)量時(shí)刀頭須向上傾斜裝夾，使刀頭的圓柱形切削面平行于圓度儀立柱(如圖1和2所示)。切削面的圓柱中心名義上對(duì)齊主軸中心，并使用部分圓度測(cè)量的自動(dòng)程序**調(diào)整零件中心，使其相對(duì)于主軸的偏心小于0.3μm。

隨著工件**找正，Talyrond 595H的高精度空氣軸承主軸帶動(dòng)刀頭旋轉(zhuǎn)，測(cè)針通過(guò)切割掃描，傳感器每0.005度采集一個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)。這種計(jì)量方法使用了回轉(zhuǎn)精度為0.015μm的精密測(cè)量軸，以實(shí)現(xiàn)刀頭和鉆石或紅寶石測(cè)針之間的單點(diǎn)接觸。

圖三， 測(cè)量示意圖

圖四， 波紋度的結(jié)果示例

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